据格隆汇8月10日报道,SpaceX(SPCX.O)近日宣布将与特斯拉(TSLA.O)合作,初期投资168亿美元,在美国得州建设Terafab芯片设施。有博客博主发布消息称,从Terafab发布的信息来看,马斯克似乎要采用“自由电子激光器”(Free Electron Laser, FEL)技术路线,以挑战阿斯麦(ASML.O)的LPP EUV光源,颠覆传统EUV晶片生产技术的垄断。马斯克其后的回应似乎印证了这种说法,他贴出“FEL FTW”(FEL For The Win)字眼。从Terafab细长的厂房设计和马斯克的回复可以看出,Terafab很可能会采用FEL技术。
尽管马斯克要搞FEL只是一种猜想,但仍引起业界人士热烈讨论。FEL具备高功率、高相干、波长可调,以及更高能效等优势,理论上可以将光刻光源从13.5nm推向6nm甚至更短波长。不过,庞大的加速器系统、成本及量产稳定性仍是产业化最大挑战。
目前,阿斯麦在EUV光刻领域占据主导地位,其LPP(激光等离子体)技术是主流方案。若FEL技术得以实现,可能为芯片制造提供新的光源选择,但距离商业化尚远。业界对此反应不一,有人看好其潜力,也有人质疑其可行性。