據格隆匯8月10日報道,SpaceX(SPCX.O)近日宣佈將與特斯拉(TSLA.O)合作,初期投資168億美元,在美國得州建設Terafab晶片設施。有部落格博主釋出訊息稱,從Terafab釋出的資訊來看,馬斯克似乎要採用“自由電子雷射器”(Free Electron Laser, FEL)技術路線,以挑戰阿斯麥(ASML.O)的LPP EUV光源,顛覆傳統EUV晶片生產技術的壟斷。馬斯克其後的回應似乎印證了這種說法,他貼出“FEL FTW”(FEL For The Win)字眼。從Terafab細長的廠房設計和馬斯克的回覆可以看出,Terafab很可能會採用FEL技術。
儘管馬斯克要搞FEL只是一種猜想,但仍引起業界人士熱烈討論。FEL具備高功率、高相干、波長可調,以及更高能效等優勢,理論上可以將光刻光源從13.5nm推向6nm甚至更短波長。不過,龐大的加速器系統、成本及量產穩定性仍是產業化最大挑戰。
目前,阿斯麥在EUV光刻領域佔據主導地位,其LPP(雷射等離子體)技術是主流方案。若FEL技術得以實現,可能為晶片製造提供新的光源選擇,但距離商業化尚遠。業界對此反應不一,有人看好其潛力,也有人質疑其可行性。